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借用偏光顯微鏡可做微區(qū)成分的分析

發(fā)布人:shpuda發(fā)布時(shí)間:2014/1/21

    在觀察形貌時(shí),因?yàn)閽呙桦娮酉裥。皇峭瑫r(shí)記錄,故能在微小區(qū)域進(jìn)行成分分析和晶體學(xué)分析。掃描電子像是由分解為近百萬個(gè)像點(diǎn),即所謂像素,逐個(gè)依次記錄構(gòu)成的。通過掃描電子偏光顯微鏡,除了觀察表面形貌外,還能進(jìn)行成分和元素分布的分析。因?yàn)樵谕粓D像上各點(diǎn)均同時(shí)記錄,所以這點(diǎn)在其它類型偏光顯微鏡是辦不到的。

    此外,應(yīng)用三透鏡式掃描電子偏光顯微鏡,很容易從微小區(qū)域獲得電子通道圖,進(jìn)行結(jié)晶學(xué)分析。選區(qū)尺寸可局限在10微米到2微米的小區(qū)域。因此,又可以在厚塊樣品小區(qū)域中測(cè)定晶體向位、晶胞大小以及斷口附近微小區(qū)域的應(yīng)變等。

    由于掃描電子偏光顯微鏡具有上述優(yōu)點(diǎn),頗受科研工作者的重視,用途日益廣泛。從發(fā)展趨勢(shì)來看,它將象光學(xué)顯微鏡那樣普遍地在實(shí)驗(yàn)室中應(yīng)用。

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