電子偏光顯微鏡的機械系統(tǒng)和真空系統(tǒng)
發(fā)布人：shpuda發(fā)布時間：2014/4/29
電子偏光顯微鏡中造價最高的部分不是電子光學系統(tǒng).而是它的復雜的機械結構。它的極靴的表面公差和光潔度直接影響透鏡像差，影響分辨率極限。它由多個透鏡登加組成，每個部分的精度和光潔度會影響透鏡的對準，同樣影響透鏡質(zhì)量，前面提到的每個透鏡.圖中給出的都是它們的簡圖。最簡單的、放大倍數(shù)不高的電子偏光顯微鏡也要有兩百多個真空密封墊圈，任何部分的平整度、光沽度都會影響真空度的獲得，影響電子偏光顯微鏡的正常使用。
它的樣品是放在真空系統(tǒng)內(nèi)的，每次更換樣品都要影響賓空度，所以整個系統(tǒng)是由動態(tài)平衡來保持真空度的。正因為這樣，它的陰極—燈絲的壽命有限，而每次更換燈絲，都要重新調(diào)整它的電子光學同軸向題，這又使結構更加復雜。
圖8.6中(a)是透鏡的平移調(diào)節(jié)裝置，如果定義磁透鏡的軸心(稱為中心光軸)為Z軸，通過調(diào)節(jié)在XY平面中相互垂直的這樣兩個平移螺絲可以使相應透鏡在整內(nèi)相互垂直的兩對傾斜螺絲，可以使上部透鏡在180°立體角內(nèi)傾斜，這樣通過調(diào)節(jié)這些螺絲，可以把整個電子偏光顯微鏡的各級透鏡調(diào)節(jié)至與中心光軸重合，在整個調(diào)節(jié)過程中。不論平移還是傾斜都不能有漏氣點?？梢娖鋷缀窝b配要求之高。
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